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隨著新能源汽車(chē)、光伏發(fā)電、AR等高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，碳化硅作為第三代半導(dǎo)體材料的關(guān)鍵地位日益凸顯。然而，其極高的硬度和化學(xué)穩(wěn)定性也為精密加工帶來(lái)嚴(yán)峻挑戰(zhàn)，高昂的加工成本已成為制約碳化硅進(jìn)一步擴(kuò)大應(yīng)用的主要瓶頸之一。在此背景下，能夠大幅降低損耗、提升效率的激光剝離技術(shù)，已成為8英寸乃至12英寸碳化硅襯底加工的必然選擇。

值此產(chǎn)業(yè)升級(jí)的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)，西湖儀器（杭州）技術(shù)有限公司產(chǎn)品演示中心建成并投入試運(yùn)行。該中心是一個(gè)集8英寸碳化硅激光剝離自動(dòng)化生產(chǎn)線與大尺寸碳化硅襯底加工驗(yàn)證于一體的綜合平臺(tái)，具備前沿技術(shù)與產(chǎn)品的驗(yàn)證能力，是推動(dòng)激光剝離技術(shù)從“工藝可行”邁向“量產(chǎn)好用”的關(guān)鍵載體。

綜合平臺(tái)：覆蓋自動(dòng)化量產(chǎn)與先進(jìn)工藝驗(yàn)證

這種“量產(chǎn)演示”與“前沿驗(yàn)證”相結(jié)合的布局，使該中心能夠?yàn)榭蛻?hù)提供從工藝導(dǎo)入到量產(chǎn)決策的全方位支持。

1. 自動(dòng)化量產(chǎn)能力——8英寸碳化硅激光剝離自動(dòng)化生產(chǎn)線

作為產(chǎn)品演示中心的核心，8英寸碳化硅激光剝離自動(dòng)化生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)了從“從錠到片”的全流程自動(dòng)化、無(wú)人化操作，是滿(mǎn)足當(dāng)前市場(chǎng)主流需求、實(shí)現(xiàn)降本增效的產(chǎn)業(yè)化利器。該驗(yàn)證線年產(chǎn)超過(guò)20,000片8英寸襯底，模塊化設(shè)計(jì)支持產(chǎn)能靈活調(diào)配，能夠?yàn)榭蛻?hù)提供多層次全方位的驗(yàn)證數(shù)據(jù)。

2. 先進(jìn)工藝驗(yàn)證能力——大尺寸碳化硅激光剝離工藝驗(yàn)證

大尺寸碳化硅激光剝離工藝驗(yàn)證線，主要服務(wù)于12英寸碳化硅襯底的新技術(shù)工藝和產(chǎn)品驗(yàn)證，具備年產(chǎn)超過(guò)10,000片12英寸襯底的處理能力，同時(shí)滿(mǎn)足各類(lèi)非標(biāo)大尺寸籽晶加工需求。其核心任務(wù)是攻克大尺寸工藝難題、開(kāi)展技術(shù)前瞻性研發(fā)，為下一代大尺寸襯底加工提供技術(shù)儲(chǔ)備與解決方案。

生態(tài)體系：構(gòu)建客戶(hù)與行業(yè)賦能平臺(tái)

演示中心不僅是設(shè)備展示窗口，更是面向行業(yè)開(kāi)放的賦能平臺(tái)：

技術(shù)人才培養(yǎng)：提供針對(duì)激光剝離工藝的全流程操作與運(yùn)維專(zhuān)業(yè)培訓(xùn)，縮短客戶(hù)工程師從傳統(tǒng)線切作業(yè)向激光剝離作業(yè)的切換周期，降低客戶(hù)導(dǎo)入激光剝離產(chǎn)線的成本；

產(chǎn)業(yè)生態(tài)驗(yàn)證：作為開(kāi)放平臺(tái)，為新技術(shù)、新設(shè)備、關(guān)鍵耗材提供中試驗(yàn)證服務(wù)，降低產(chǎn)業(yè)鏈各方的創(chuàng)新風(fēng)險(xiǎn)與導(dǎo)入成本；

戰(zhàn)略決策支持：通過(guò)自動(dòng)量產(chǎn)實(shí)景可視化，為客戶(hù)產(chǎn)線規(guī)劃與技術(shù)選型提供直觀、可靠的決策依據(jù)。

引領(lǐng)行業(yè)：確立市場(chǎng)領(lǐng)導(dǎo)地位并獲權(quán)威背書(shū)

西湖儀器在碳化硅激光剝離領(lǐng)域已建立起顯著的技術(shù)與市場(chǎng)先發(fā)優(yōu)勢(shì)：

官方認(rèn)證：西湖儀器的碳化硅襯底激光剝離設(shè)備已獲得國(guó)內(nèi)首臺(tái)（套）認(rèn)定，彰顯技術(shù)先進(jìn)性與自主創(chuàng)新能力；

權(quán)威背書(shū)：西湖儀器被全球權(quán)威機(jī)構(gòu)Yole認(rèn)定為“中國(guó)碳化硅激光剝離設(shè)備市場(chǎng)引領(lǐng)者”；

內(nèi)容來(lái)源：Yole

市場(chǎng)驗(yàn)證：西湖儀器激光剝離產(chǎn)品已成為國(guó)內(nèi)頭部客戶(hù)量產(chǎn)8英寸襯底的主力生產(chǎn)設(shè)備。公司近一月連續(xù)交付三套激光剝離系統(tǒng)，已具備批量交付能力。

展望未來(lái)：錨定產(chǎn)業(yè)升級(jí)，共拓應(yīng)用藍(lán)海根據(jù)

根據(jù)Yole最新預(yù)測(cè)，至2030年，全球碳化硅功率器件市場(chǎng)規(guī)模將超過(guò)100億美元，2024年至2030年的年復(fù)合增長(zhǎng)率將達(dá)20%。碳化硅產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程亟需上游襯底加工環(huán)節(jié)在效率、成本與品質(zhì)上實(shí)現(xiàn)同步突破。

8英寸碳化硅激光剝離自動(dòng)化生產(chǎn)線直面當(dāng)前產(chǎn)業(yè)升級(jí)的迫切需求，是推動(dòng)碳化硅器件降本增效、規(guī)?；瘧?yīng)用的必由之路；

大尺寸工藝驗(yàn)證線則前瞻布局未來(lái)AR、先進(jìn)封裝等新興領(lǐng)域，開(kāi)辟更廣闊的應(yīng)用藍(lán)海。

西湖儀器以“助力每一次科技突破”為使命，致力于成為微納光電子加工與表征儀器設(shè)備的引領(lǐng)者。未來(lái)，公司將與產(chǎn)業(yè)鏈伙伴協(xié)同創(chuàng)新，持續(xù)推進(jìn)激光剝離技術(shù)及自動(dòng)化產(chǎn)線的規(guī)?；瘧?yīng)用，為國(guó)內(nèi)碳化硅產(chǎn)業(yè)提升國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力提供堅(jiān)實(shí)支撐。