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企業(yè)新聞

影速集成FEM2000激光直寫設備交付 打破日韓壟斷助力國產(chǎn)自主化

激光制造網(wǎng) 來源:財聯(lián)社2025-11-03 我要評論(0 )   

  近日,中國半導體裝備領域傳來重磅捷報。江蘇影速集成電路裝備股份有限公司(以下簡稱“影速集成”)正式宣布,其完全自主研發(fā)的FEM2000激光直寫曝光設備已成功出貨...

  近日,中國半導體裝備領域傳來重磅捷報。江蘇影速集成電路裝備股份有限公司(以下簡稱“影速集成”)正式宣布,其完全自主研發(fā)的FEM2000激光直寫曝光設備已成功出貨,交付予北京某半導體顯示產(chǎn)業(yè)的龍頭企業(yè)。這一事件遠非尋常的設備交付,它標志著我國在高端顯示核心制造裝備打破了日韓企業(yè)在該環(huán)節(jié)長達數(shù)十年的技術(shù)壟斷,為“中國屏”邁向高端化、實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)鏈自主可控注入了最核心的動能。

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  打破壟斷,攻克顯示制造“最后堡壘”

  在面板制造復雜繁冗的工藝流程中,曝邊、打碼以及金屬掩模版(FMM/CMM)的制造環(huán)節(jié),因其技術(shù)門檻極高、工藝精度要求嚴苛,一直是國產(chǎn)設備難以逾越的技術(shù)高地。長期以來,這些核心設備與工藝幾乎完全依賴日本、韓國進口,不僅采購成本高昂、售后服務受限,更關(guān)鍵的是,這使得中國龐大的顯示產(chǎn)業(yè)在供應鏈安全上存在“卡脖子”的隱憂,產(chǎn)業(yè)升級的命脈掌握在他人之手。

  影速集成此次交付的FEM2000設備,正是直指這一行業(yè)痛點。該設備成功實現(xiàn)了從G6到G10.5代線全尺寸的激光直寫曝光技術(shù)國產(chǎn)化替代。這意味著,無論是用于智能手機的中小尺寸屏幕,還是用于電視的65英寸至110英寸超大尺寸面板,中國企業(yè)都擁有了國產(chǎn)化的核心裝備選擇,從根本上筑牢了產(chǎn)業(yè)鏈安全防線。

  硬核技術(shù),鑄就“自主化”底氣

  影速集成成立于2014年,自創(chuàng)立之初便深耕于激光直寫光刻技術(shù)及半導體前道檢測設備領域,是一家擁有深厚技術(shù)積淀的國家級專精特新企業(yè)。公司的技術(shù)優(yōu)勢并非一蹴而就,其自主研發(fā)的雙臺面激光直接成像設備早已在高端PCB及載板制造領域打破了國外壟斷,并兩次被認定為江蘇省首臺(套)重大裝備,為進軍顯示領域奠定了堅實的技術(shù)基礎。

  FEM2000設備集成了影速集成最尖端的技術(shù)成果,其優(yōu)勢體現(xiàn)在三大方面:首先,是極致的精度。設備采用先進的激光直寫技術(shù),無需傳統(tǒng)的掩模版,可直接在超薄且易碎的玻璃基板上進行微米級線寬的刻畫。這一精度水平,恰好滿足了Micro LED、OLED等下一代顯示技術(shù)對精細圖形化的苛刻要求,為產(chǎn)業(yè)技術(shù)迭代提供了設備保障。其次,是卓越的靈活性。 設備具備開放式的工藝接口,能夠快速適配不同尺寸、不同材料的基板,極大地滿足了面板廠商在新技術(shù)研發(fā)階段“小批量、多型號”的試產(chǎn)需求,顯著縮短了研發(fā)周期,加速了創(chuàng)新步伐。第三,是全面的數(shù)據(jù)安全。從版圖設計到曝光參數(shù),全部由國內(nèi)設備進行閉環(huán)處理,杜絕了工藝數(shù)據(jù)外泄的風險,保護了企業(yè)的核心知識產(chǎn)權(quán)。

  賦能未來,開啟“中國智造”新篇章

  目前,F(xiàn)EM系列設備的應用已深入UV-Glass基板處理、FMM/CMM金屬掩模版制造、大尺寸掩模版量產(chǎn)等核心場景。其獨特的動態(tài)聚焦系統(tǒng)與多場同步曝光技術(shù),有效突破了傳統(tǒng)光刻技術(shù)在均勻性和精度上的限制,為超大尺寸面板的良率提升提供了關(guān)鍵支撐。

  此次FEM2000的成功交付,是一個里程碑,更是一個新起點。它象征著中國顯示產(chǎn)業(yè)裝備從輔助環(huán)節(jié)走向核心環(huán)節(jié),從技術(shù)“跟跑”到與國際巨頭“并跑”的戰(zhàn)略性轉(zhuǎn)變。展望未來,隨著以影速集成為代表的國產(chǎn)裝備企業(yè)持續(xù)創(chuàng)新、深度滲透,中國顯示產(chǎn)業(yè)將構(gòu)筑起愈加堅實的安全壁壘,并在全球市場中贏得更響亮的話語權(quán),真正實現(xiàn)從“顯示大國”到“顯示強國”的跨越。


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